日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M

日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M

1. 微型化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

SP25M采用革命性的三級(jí)減震架構(gòu)：（1）陶瓷基座內(nèi)置空氣阻尼器，衰減環(huán)境振動(dòng)達(dá)90%；（2）鈦合金探針臂重量?jī)H0.8g，較傳統(tǒng)鋼制結(jié)構(gòu)減輕65%；（3）納米級(jí)預(yù)緊力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，通過(guò)0.01N·m扭矩螺絲實(shí)現(xiàn)測(cè)針夾持微調(diào)。這種設(shè)計(jì)使探頭整體尺寸控制在Φ3.2×15mm，為目前同精度等級(jí)最小體積。

2. 納米級(jí)測(cè)量系統(tǒng)

核心測(cè)量模塊包含：

• 光學(xué)編碼器：采用衍射光柵技術(shù)，分辨率達(dá)0.5nm

• 電容式位移傳感器：帶寬1kHz，響應(yīng)時(shí)間<0.5ms

• 溫度補(bǔ)償單元：內(nèi)置4個(gè)PT100傳感器，實(shí)時(shí)修正熱變形誤差

測(cè)試數(shù)據(jù)顯示，在ISO Class 4潔凈環(huán)境下，對(duì)硅晶圓標(biāo)準(zhǔn)片進(jìn)行100次重復(fù)測(cè)量，Z軸標(biāo)準(zhǔn)偏差僅為1.2nm（依據(jù)ISO 4287標(biāo)準(zhǔn)）。

3. 工業(yè)應(yīng)用驗(yàn)證

在豐田汽車噴油嘴檢測(cè)項(xiàng)目中：

• 測(cè)量對(duì)象：Φ0.12mm微孔內(nèi)壁粗糙度

• 對(duì)比設(shè)備：傳統(tǒng)接觸式輪廓儀

• SP25M優(yōu)勢(shì)：

• 測(cè)量時(shí)間縮短40%（單孔3分鐘→1.8分鐘）

• 數(shù)據(jù)完整性提升（可獲取傳統(tǒng)設(shè)備無(wú)法觸及的底部30%區(qū)域）

• 劃傷率降至0.1%以下

4. 系統(tǒng)集成方案

通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化接口（符合ISO 9409-1）可快速對(duì)接：

• 三豐CV-3200輪廓儀（需選配MNT-20適配器）

• 蔡司O-INSPECT多傳感器測(cè)量機(jī)

• 基恩士VHX-6000數(shù)字顯微鏡

典型配置包含：

SP25M探頭本體 ×1 R0.1μm金剛石測(cè)針 ×3 校準(zhǔn)證書（JIS B 7506） ×1 防震運(yùn)輸箱（IP67） ×1

5. 維護(hù)保養(yǎng)規(guī)范

• 日常維護(hù)：每周用超純乙醇清潔測(cè)針接觸面

• 周期校準(zhǔn)：建議每500小時(shí)或溫度變化>5℃時(shí)進(jìn)行

• 壽命指標(biāo)：

• 測(cè)針：50萬(wàn)次接觸（R0.1μm規(guī)格）

• 傳感器：≥3年（基于加速老化試驗(yàn)）